硒化鋅(ZnSe)陶瓷具有優(yōu)異的中紅外和遠(yuǎn)紅外透射率（0.5~22 μm）、高折射率（2.3~2.5）和高非線性折射率（800 nm時(shí)非線性折射率為4×10−14cm2/W）等特點(diǎn),為重要的紅外光學(xué)材料[1-2]。ZnSe通常用于高分辨率紅外熱成像和“多光學(xué)復(fù)合”檢測(cè)系統(tǒng)。同時(shí),ZnSe作為一種重要的直接帶隙Ⅱ-Ⅵ族半導(dǎo)體陶瓷材料,其禁帶寬度為 2.6 eV[3-4]。與CdS和CdSe等陶瓷材料相比,硒化鋅是一種低毒性半導(dǎo)體材料,在發(fā)光二極管、藍(lán)綠色半導(dǎo)體激光器及中紅外激光器等光電子器件上,以及光伏太陽(yáng)能電池、生物醫(yī)學(xué)標(biāo)記等方面具有很高的應(yīng)用價(jià)值。

顯微組織一方面記錄了材料制備過(guò)程中的一些關(guān)鍵信息,另一方面又在一定程度上決定了材料性能的優(yōu)劣[5-6]。金相檢驗(yàn)是研究材料內(nèi)部組織最直觀、高效的科學(xué)技術(shù)手段之一。無(wú)論是對(duì)硒化鋅陶瓷材料制備過(guò)程中產(chǎn)生的分層、微裂紋、孔洞等顯微缺陷的檢測(cè),還是對(duì)其組織均勻性分析、晶粒度評(píng)定工作的開(kāi)展,都極其依賴(lài)高質(zhì)量的陶瓷材料金相檢驗(yàn)制樣技術(shù)及組織顯示技術(shù)[7-8]。迄今為止,針對(duì)硒化鋅多晶陶瓷材料的金相檢驗(yàn)腐蝕方法國(guó)內(nèi)外少有報(bào)道。硒化鋅多晶陶瓷材料是研發(fā)高性能光電子器件的關(guān)鍵原材料,開(kāi)展硒化鋅的顯微組織研究符合高端光電陶瓷材料的發(fā)展方向。筆者對(duì)硒化鋅金相檢驗(yàn)的腐蝕方法進(jìn)行研究,結(jié)果可為提高硒化鋅陶瓷材料的產(chǎn)品質(zhì)量提供支持。

1. 試樣制備與試驗(yàn)方法

1.1 試樣制備

試驗(yàn)原材料為化學(xué)氣相沉積（CVD）法制備的硒化鋅多晶陶瓷,采用超精密飛刀車(chē)削加工獲得直徑為5 mm、厚度為10 mm的硒化鋅陶瓷試樣。試樣的鑲嵌方式為冷鑲,將硒化鋅陶瓷待測(cè)面向下置于冷鑲模具中,加入攪拌均勻的冷鑲嵌料（液態(tài)環(huán)氧樹(shù)脂質(zhì)量為90~120 g,環(huán)氧固化劑質(zhì)量為10~20 g）,使試樣被完全浸沒(méi),采用真空浸漬裝置抽真空,室溫固化8~24 h,脫模。依次用120,240,500,1 200,2 500目（1目=25.4 mm）的碳化硅水砂紙研磨試樣,每換一次砂紙,試樣需轉(zhuǎn)動(dòng)45°~135°,直至將上一級(jí)劃痕完全去除。用粒度為2.5 μm的金剛石拋光劑消除細(xì)磨留下的磨痕,再用粒度為1.0 μm的金剛石拋光劑精拋2~5 min,得到表面平整、光亮的硒化鋅陶瓷金相試樣[9-10]。

1.2 試驗(yàn)方法

采用X射線衍射儀（XRD）觀察硒化鋅陶瓷金相試樣表面的物相結(jié)構(gòu),用JADE6.5軟件分析采集到的數(shù)據(jù)?；趯?shí)驗(yàn)室腐蝕氧化鋅、氧化鋯等陶瓷及相關(guān)材料的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)總結(jié),并查閱國(guó)內(nèi)外相關(guān)金相檢驗(yàn)腐蝕手冊(cè)和技術(shù)文獻(xiàn),采用表1所示的5種金相檢驗(yàn)腐蝕方法開(kāi)展試驗(yàn)研究。將腐蝕后的試樣清洗、吹干后,置于光學(xué)顯微鏡下觀察。采用金相分析軟件對(duì)硒化鋅陶瓷顯微組織進(jìn)行分析,評(píng)定其晶粒度。

2. 試驗(yàn)結(jié)果

硒化鋅陶瓷試樣的XRD分析結(jié)果如圖1所示。由圖1可知：當(dāng)衍射角度為27.2°、45.2°和53.6°時(shí),可見(jiàn)3條清晰的特征衍射峰,與標(biāo)準(zhǔn)譜圖中的（111）、（220）和（311）晶面峰位有良好對(duì)應(yīng)關(guān)系,說(shuō)明試樣是閃鋅礦結(jié)構(gòu)的ZnSe。

圖 1硒化鋅陶瓷試樣的XRD分析結(jié)果

圖2為采用方法1腐蝕試樣的微觀形貌。由圖2可知：試樣表面無(wú)明顯變化,試樣表面仍呈拋光態(tài)特征,其顯微組織未能成功顯現(xiàn),因?yàn)榱蛩崾菑?qiáng)氧化性酸,易在硒化鋅陶瓷表面產(chǎn)生氧化膜,阻礙了腐蝕的進(jìn)行。

圖 2采用方法1腐蝕試樣的微觀形貌

圖3為采用方法2腐蝕試樣的顯微組織形貌。由圖3可知：試樣顯微組織基本顯現(xiàn),隱約可見(jiàn)孿晶及陶瓷晶粒,但圖片襯度較低,試樣晶界輪廓尚不清晰,無(wú)法開(kāi)展顯微組織分析及晶粒度評(píng)定等工作。

圖 3采用方法2腐蝕試樣的顯微組織形貌

圖4為采用方法3腐蝕試樣的顯微組織形貌。由圖4可知：試樣顯微組織僅顯現(xiàn)出部分晶粒的形貌,整體晶界顯示較淺,晶粒輪廓較為模糊,在對(duì)試樣進(jìn)行晶粒度評(píng)定及組織均勻性分析時(shí),易產(chǎn)生較大誤差。

圖 4采用方法3腐蝕試樣的顯微組織形貌

圖5為采用方法4腐蝕試樣的顯微組織形貌。由圖5可知：常溫腐蝕時(shí),試樣表面不同區(qū)域的腐蝕速率差異較大,局部區(qū)域腐蝕較為劇烈,大部分區(qū)域腐蝕速率相對(duì)較慢,且顯微組織較為模糊,晶粒形貌難以辨認(rèn),無(wú)法有效開(kāi)展顯微組織分析及晶粒度評(píng)定工作。

圖 5采用方法4腐蝕試樣的顯微組織形貌

圖6為采用方法5腐蝕5 s和20 s后試樣的顯微組織形貌。由圖6可知：試樣表面未見(jiàn)孔洞、微裂紋及分層,其顯微組織整體較為均勻,晶界輪廓明顯、晶粒形貌清晰可辨,表明采用濃鹽酸蒸汽氛圍腐蝕方法可有效顯示硒化鋅陶瓷的晶界。因?yàn)闊岬臐恹}酸蒸汽對(duì)拋光態(tài)硒化鋅試樣表面具有活化作用,以及HCl分子對(duì)硒化鋅多晶陶瓷材料晶界具有優(yōu)先腐蝕作用,使硒化鋅陶瓷材料的顯微組織充分顯示出來(lái)。參考GB/T 6394—2017《金屬平均晶粒度測(cè)定方法》,采用截點(diǎn)法對(duì)試樣進(jìn)行晶粒度評(píng)定,當(dāng)腐蝕時(shí)間為5,20 s時(shí),試樣的平均晶粒直徑分別為77.2,66.3 μm,試樣的晶粒度分別為4.5,5.0級(jí)。

圖 6采用方法5腐蝕5 s和20 s后試樣的顯微組織形貌

圖7為采用方法5腐蝕30 s后試樣的顯微組織形貌。由圖7可知：繼續(xù)延長(zhǎng)腐蝕時(shí)間至30 s,鹽酸蒸汽對(duì)硒化鋅多晶陶瓷晶界的優(yōu)先腐蝕作用不明顯,晶界和晶內(nèi)的腐蝕速率差異變小,晶內(nèi)開(kāi)始出現(xiàn)大量孿晶,晶界輪廓難以辨認(rèn),晶粒形貌較為模糊。說(shuō)明延長(zhǎng)腐蝕時(shí)間后,濃鹽酸蒸汽氛圍對(duì)硒化鋅陶瓷的腐蝕效果變差。

圖 7采用方法5腐蝕30 s后試樣的顯微組織形貌

3. 結(jié)語(yǔ)

（1）相較于其他4種腐蝕方法,采用方法5腐蝕硒化鋅試樣可獲得晶界輪廓明顯、晶粒形貌顯示清晰的顯微組織。

（2）采用截點(diǎn)法對(duì)硒化鋅試樣進(jìn)行晶粒度評(píng)定,當(dāng)腐蝕時(shí)間為5,20 s時(shí),試樣的平均晶粒直徑分別為77.2,66.3 μm,試樣的晶粒度分別為4.5,5.0級(jí)。

（3）采用方法5腐蝕硒化鋅試樣的適宜時(shí)間為5~20 s,腐蝕時(shí)間過(guò)長(zhǎng),會(huì)使試樣晶內(nèi)出現(xiàn)大量孿晶,晶界輪廓模糊,腐蝕效果變差。

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